?!DOCTYPE html PUBLIC "-//W3C//DTD XHTML 1.0 Transitional//EN" "http://www.w3.org/TR/xhtml1/DTD/xhtml1-transitional.dtd"> q面阴极实物 - 镇江市d利克真空讑֤U技有限公司
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    q面阴极实物

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    q面阴极Q包含靶材、壳体、设|在壳体内的软铁底板、设|在软铁底板上的阵Q靶材位于所q磁늚上方Q所q磁阵包含Nlƈ沿Y铁底板的横向q行竖直的等距排列;所q磁阵包含:形成在Y铁底板上的环形跑道、设|在软铁底板上被环Ş跑道所包围的第一铁、设|在软铁底板上用于包围环形跑道的W二铁Q所q磁阵还包含Q设|在环Ş跑道内用于隔dƈ固定W一铁和第二磁铁的铝块Q其中,被铝块隔ȝW一铁和第二磁铁的极性相反。同现有技术相比,׃需镀膜衬底在l过靶材上方的过E中需要通过多个阵形成的刻蚀跑道Q从而得靶材上溅射出的d或原子会反复的覆盖在衬底的表面Ş成薄膜,以此来提高衬底镀膜的速度?br />

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